多晶硅定向凝固爐(簡稱結晶爐)
用于:太陽能級硅錠制造,也可以用于其他半導體材料提純。
1、控制精度高,結晶速度可調節
2、采用石墨電阻或感應加熱熔煉法,增加溶液攪拌,熔煉速度快
3、定向凝固保溫采用特制加熱電源
4、具有三相電流平衡,維護費用低
5、采用恒溫度控制儀,可設置148段加熱工藝曲線
6、爐室采用高真空爐體,真空度高,抽氣速度快
● 熔煉容量: 10-450KG
● 電源功率:40-450KW
● 設計溫度:≥1700℃
● 工作溫度:1550℃
● 升溫速率:40℃/Min
● 爐溫均勻性:±5℃
● 極限真空度: 6.67×10-2Pa
● 壓升率: 0.01PaL/S
● 額定充氣壓力:0.05Mpa
● 鑄錠方式:坩堝下降/保溫桶提升定向凝固
● 伺服控制范圍:0.01mm-6mm/Min
● 定向凝固速率 :0.01mm-0.5mm/Min
● 坩堝快速返回速度:80-100 mm/Min