當(dāng)前標(biāo)簽:真空氣相沉積爐
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氣相沉積爐概述:CVD化學(xué)氣相沉積爐是用于制備碳碳復(fù)合材料,完成CVD氣相沉積工藝的重要工藝裝備。1)設(shè)計(jì)溫度:1250℃/1650℃/1800℃/2200℃2)常用溫度:900~1200℃3)真空度:<50Pa4)壓升率:空爐冷態(tài)6.67