當(dāng)前標簽：碳化硅晶體生長爐
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1.控制線路采用數(shù)字鎖相技術(shù)，實現(xiàn)頻率自動追蹤；主功率器件采用進口，模塊化設(shè)計，設(shè)備簡單容易維修。2.IGBT串聯(lián)諧振電路，具有輸出頻率高，電器性能穩(wěn)定。3.能適用多種負載，匹配簡單。4.系統(tǒng)功能齊全：有缺相
