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多晶硅定向凝固爐（簡稱結(jié)晶爐）
用于：太陽能級硅錠制造，也可以用于其他半導(dǎo)體材料提純。
1、控制精度高，結(jié)晶速度可調(diào)節(jié)
2、采用石墨電阻或感應(yīng)加熱熔煉法，增加溶液攪拌，熔煉速度快
3、定向凝固保溫采用特制加熱電源
4、具有三相電流平衡，維護(hù)費(fèi)用低
5、采用恒溫度控制儀，可設(shè)置148段加熱工藝曲線
6、爐室采用高真空爐體，真空度高，抽氣速度快
● 熔煉容量： 10-450KG
● 電源功率：40-450KW
● 設(shè)計溫度：≥1700℃
● 工作溫度：1550℃
● 升溫速率：40℃/Min
● 爐溫均勻性：±5℃
● 極限真空度： 6.67×10-2Pa
● 壓升率： 0.01PaL/S
● 額定充氣壓力：0.05Mpa
● 鑄錠方式：坩堝下降/保溫桶提升定向凝固
● 伺服控制范圍：0.01mm-6mm/Min
● 定向凝固速率 ：0.01mm-0.5mm/Min
● 坩堝快速返回速度：80-100 mm/Min
